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芯片漏电失效分析解剖 FIB切片分析
L失效分析金鉴 | 2021-08-16 12:13:38    阅读:5116   发布文章


结合金鉴实验室的大数据分析总结,金鉴工程师总结出关于漏电失效,可能原因有以下这些:

1. 焊球过大

2. 芯片被污染

3. 离子迁移 

4. 芯片被损坏

5. 固晶胶爬胶过高

6.芯片本身质量问题 ,芯片长晶工艺缺陷

image.png

金鉴实验室邵工分享关于芯片漏电失效检测方法:

芯片漏电失效分析OBIRCH/EMMI

作为一种新型的高分辨率微观缺陷定位技术,能够在大范围内迅速准确地进行器件失效缺陷定位,基本上,只要有LED芯片异常的漏电,它都可以产生亮点出来。 


原理:用激光束在通电恒压下的LED芯片表面进行扫描,激光束部分能量转化为热能,如果LED芯片存在缺陷点,缺陷处温度将无法迅速通过金属线传导散开,这将导致缺陷处温度累计升高,并进一步引起金属线电阻以及电流变化,通过变化区域与激光束扫描位置的对应,定位缺陷位置。该方法常用于LED芯片内部高阻抗及低阻抗分析,芯片漏电路径分析。


金鉴实验室LED芯片失效点分析(Obirch+FIB+SEM)检测报告!


Obirch


SEM


SEM


SEM


FIB



FIB切片芯片测试

案例 芯片静电击穿:

对漏电失效芯片做FIB截面分析1#击穿位置,中间点贯穿外延PN结,导致芯片漏电失效。击穿坑洞位于正极金道边缘,且坑洞形貌与常规静电击穿形貌一致,因此推断芯片受到静电击穿。image.png



FIB切割芯片金道

金鉴实验室FIB-SEM产品工艺异常或调整后通过FIB获取膜层剖面对各膜层检查以及厚度的测量检测工艺稳定性。


FIB切割芯片金道

FIB切割芯片金道


芯片离子污染:

小芯片没有做保护层,很容易吸附其他分子、杂质,同时芯片生产使用过程中的活性离子很容易扩散进入半导体材料中,容易形成了电流通道使芯片出现IR不良现象,甚至导致芯片严重失效。


本文由金鉴实验室邵工提供,如需转载及技术咨询,请联系邵工:18814096302 



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